Первый коммерческий сканер ASML для EUV-литографии (NXE:3300B)
В 90-х годах доля Nikon на рынке литографического оборудования для выпуска полупроводников достигала 60 %. В настоящее время 84 % этого рынка принадлежит компании ASML. На долю оборудования ASML для иммерсионной литографии приходится ещё больше — 93 % рынка. Угрозу со стороны ASML компания Nikon начала ощущать в конце 90-х, а в 2001 году подала в один из судов США против нидерландского конкурента иск с обвинением в нарушении патентов. Также Nikon обвинила в нарушении своих патентов немецкую компанию Carl Zeiss, которая поставляла ASML оптические системы для литографических сканеров (на тот момент такие установки назвались степперами).
Сканер компании Nikon
В 2004 году Nikon, ASML и Carl Zeiss заключили пятилетнее перекрёстное лицензионное соглашение. В рамках соглашения компания ASML уплатила Nikon $87 млн, а Carl Zeiss — $58 млн. После 2009 года Nikon, ASML и Carl Zeiss провели ряд консультаций, но так и не смогли договориться о продлении соглашения на последующие годы. Между тем современные сканеры используют всё те же принципы и базовые технологии, которые когда-то запатентовала Nikon.
Опытный сканер Nikon для обработки пластин диаметром 450 мм
Сегодня компания ASML получает от продажи литографического оборудования около $7,37 млрд в год (данные за 2016 год). По мнению Nikon, $3,8 млрд из этой суммы ASML получает благодаря нарушению патентов японского разработчика. Очевидно, что с точки зрения Nikon это несправедливо. Чтобы призвать нарушителей патентов к ответу, Nikon подала иски против ASML и Carl Zeiss в Нидерландах, Германии и в Японии. Компании ASML и Carl Zeiss обвиняются в нарушении 11 патентов Nikon. Подобные иски рассматриваются достаточно долго, но у Nikon есть козырь — отказ от продления перекрёстного соглашения. Так что всё может закончиться внесудебной договорённостью между компаниями.
